Diffundierter Silizium-Drucktransmitter
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Druckmessumformer aus diffundiertem Silizium
Zweck Der Sender DWP-800 besteht aus einem piezoresistiven Sensor und einem Signalumwandlungsmodul.Kernstück des Sensors ist ein monokristalliner Siliziumwafer.Wenn der monokristalline Siliziumwafer unter Druck steht, ändert sich sein eigener Widerstand.Vier Widerstände werden durch den Halbleiterplanarprozess auf den Siliziumchip diffundiert und zu einer Wheatstone-Brücke verbunden.Unter Einwirkung eines konstanten Stroms kann das dem Drucksignal proportionale Spannungssignal ...
